Унифицированная карточка ресурса.

(Инновационные проекты (биржа))

Информация о источнике:   Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Северо-Западный государственный заочный технический университет" (ГОУВПО "СЗТУ")
Описание предложения
Дата материала:   14.02.2011
Дата актуальности материала:   14.02.2012
Название:   Устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок
Основное описание:   Предлагаемая полезная модель "Устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок" относится к измерительной технике и предназначена для быстрого измерения толщины твердых и жидких диэлектрических и полупроводниковых пленок и покрытий в диапазоне 10 мкм – 1 мм и может использоваться в производстве пленок и научных исследованиях. Задачей предлагаемой полезной модели является повышение производительности измерений при интерферометрических измерениях толщины пленок (слоев), путем обеспечения возможности измерения толщины в нескольких заранее заданных точках с высокой скоростью. Для решения поставленной задачи предлагается в устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок, содержащее источник монохроматического излучения, держатель образца и последовательно соединенные приемник излучения и регистрирующий прибор, дополнительно ввести две линзы и вращающееся плоское зеркало. Ось вращения плоского зеркала должна быть расположена на его отражающей поверхности, первая линза должна находиться на расстоянии, равном фокусному от вращающегося зеркала, вторая линза должна находиться на расстоянии, равном фокусному от фотоприемника. Причем, обе линзы должны быть расположены так, чтобы их апертуры оптически были сопряжены, а лазерный луч отражался от поверхности вращающегося зеркала в точке, находящейся на оси вращения зеркала. В предлагаемом устройстве оптико-механическая схема позволяет сформировать растр лазерных лучей, проецирующийся на поверхность пленки. Каждый из этих лучей позволяет контролировать толщину пленки в точке своего падения на поверхность образца, а в совокупности – в большом числе точек на поверхности с высокой скоростью. В этом состоит существенное отличие от прототипа, в котором луч все время попадает на одну и ту же точку поверхности образца, а для проведения измерений в других точках необходимо обеспечить механическое перемещение прибора относительно образца, либо образца относительно прибора.
Назначение:   Измерение толщины твердых и жидких диэлектрических и полупроводниковых пленок и покрытий в диапазоне 10 мкм – 1 мм,производство пленок, научные исследования.
Цель предложения:   Продажа лицензии, создание совместного предприятия
Условия реализации сотрудничества:   Взаимовыгодные, с сохранением прав собственности на полезную модель у ГОУВПО "СЗТУ"
Результаты маркетинговых исследований:   Устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок относится к измерительной технике. Может найти широкое применение в электронике и микроэлектронике.
Ключевые слова:   Электроника, микроэлектроника; измерительные средства; электронные измерительные системы; электрические технологии, связанные с измерениями; механические технологии, связанные с измерениями; оптические технологии, связанные с измерениями
Представляющая организация
Организация представляющая :   ГОУВПО "Северо-Западный государственный заочный технический университет" (ГОУВПО "СЗТУ")
Организация инициатор предложения
Организация инициатор:   ГОУВПО "Северо-Западный государственный заочный технический университет" (ГОУВПО "СЗТУ")
Страна:   Россия
Субъект:   СЗФО
Город:   Санкт-Петербург
Адрес (местонахождение):   191186, Санкт-Петербург, ул.Миллионная, д.5
Телефон (орг.):   (812)335-26-26
Факс (орг.):   (812)571-60-16
Email (орг.):   office@
wpi.ru

Сайт (орг.):   http://www.
wpi.ru

Подразделение организации:   Отдел инноваций и трансфера технологий
Руководитель проекта:   Гарькушев Александр Юрьевич
Телефон, E-mail руководителя:   (812)- 335-26-45; e-mail: i

ov@
wpi.ru

Авторы:   Иванов А.С., Манухов В.В., Федорцов А.Б., Чуркин Ю.В., Гончар И.В.
Контактное лицо:   Гарькушев Александр Юрьевич
Email контактного лица:   i

ov@
wpi.ru

Телефон контактного лица:   (812)- 335-26-45
Приоритетные направления:   Индустрия наносистем и материалы;
Критические технологии:   Нанотехнологии и наноматериалы;
Тип объекта описания:   Проект;
Принадлежность:   Российская;
Тип предложения - стадия развития:   Стадия разработки (НИОКР);
Форма сотрудничества:   Дальнейшие совместные исследования;
Лицензионное соглашение;
Коммерческое соглашение с техническим содействием;
Инвестиции (Финансовые ресурсы);
Область применения:   Измерения и стандарты;
Электроника, приборостроение;
Тип организации инициатора:   Учебное, учебно-научное учреждение;
Характер использования инвестиций:   Новые технологии;
Подготовка производства;
НИОКР;
  Rambler's Top100