Унифицированная карточка ресурса.

(Информационние карты диссертаций)

.
Дата материала:   28.08.2009
Название:   Исследование твердотельных микро- и наноструктур методом спектроскопии отраженных электронов
Основное описание:   Цель диссертации: определение послойного и компонентного состава элементов твердотельной электроники с нанометровым разрешением. Получены следующие результаты, обладающие научной новизной: - впервые реализована методика интерпретации экспериментальных спектров отраженных электронов в широком диапазоне потерь их энергии путем совместного применения методов имитационного моделирования и аналитического расчета процессов рассеяния электронов в твердом теле; - впервые определены толщины слоев и исследованы границы раздела слоистых Nb/Al наноструктур с точностью до 1нм без использования послойного ионного травления; - впервые с помощью электронной спектроскопии определены профили концентрации кислорода в образцах, полученных методом микродугового оксидирования (МДО) с разрешением 300 нм до глубины 5 мкм; - создана универсальная программа имитационного моделирования процессов рассеяния электронов и ионов средних энергий в веществе. В результате проведенных исследований разработан метод, который может быть использован для контроля технологического процесса получения наноструктур на основе сверхпроводящих туннельных переходов. Получено минимальное значение толщины промежуточного слоя Al в композиционной пленке, необходимое для достижения наивысшего качества туннельного барьера. Разработан метод неразрушающего контроля толщины и структуры МДО-покрытий. Сформулированы рекомендации по выбору режима МДО-обработки электродов для повышения рабочих характеристик электролитических конденсаторов. Показана эффективность предложенного неразрушающего метода послойного анализа твердотельных структур, глубина зондирования которого варьируется от единиц нанометров до десятков микрометров, относительная точность по глубине составляет не менее 6%. Создана программа, позволяющая рассчитывать угловые и энергетические распределения атомных частиц, рассеянных твердым телом.
Шифр специальности:   05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах
Авторы (ФИО):   Лукашевский Михаил Владимирович
Степень соискателя:   канд. техн. наук
Год защиты:   2007
УДК:   621.38-022.532
ГРНТИ:   47.09.48
Информация о источнике:   Российская государственная библиотека, отдел диссертаций - http://www.rsl.ru/i
dex.php?doc=104

Приоритетные направления:   Индустрия наносистем и материалы;

Связанные материалы
Диссертация -> Организация
Место защиты Московский энергетический институт (технический университет)
  Rambler's Top100