Унифицированная карточка ресурса.

(Информационние карты диссертаций)

.
Дата материала:   07.11.2008
Название:   Разработка технологии лазерного разделения приборных пластин на кристаллы
Основное описание:   Цель диссертации: разработка нового технологического процесса прецизионного разделения приборных пластин на кристаллы, а также разработка и организация выпуска специализированного технологического оборудования для его реализации. Получены следующие результаты, обладающие научной новизной: - впервые разработан новый технологический процесс разделения приборных пластин на кристаллы с использованием метода лазерного управляемого термораскалывания; - впервые разработана математическая модель процесса лазерного управляемого термораскалывания тонких пластин с высокой теплопроводностью на примере кремния, арсенида галлия и сапфира; - разработаны и обоснованы критерии и требования к основным функциональным узлам и механизмам технологического оборудования, в том числе, к источнику лазерного излучения, оптической фокусирующей системе и механизму подачи хладагента; - установлена взаимосвязь между основными параметрами процесса лазерного управляемого термораскалывания различных типов хрупких неметаллических материалов, используемых в производстве приборных пластин, позволившая оптимизировать режимы процесса лазерного разделения; - разработана концепция и конструкция универсальной технологической установки для резки приборных пластин из различных материалов, содержащей два лазера с различной длиной излучения и две оптические фокусирующие системы. Исследования по теме диссертации связаны с решением практических задач, которые были поставлены производителями современных приборных пластин. Практическая ценность данной работы подтверждена внедрением результатов работы в производство ведущими компаниями мира. Технико-экономическая эффективность нового процесса лазерного управляемого термораскалывания приборных пластин на кристаллы значительно превышает эффективность существующих технологических процессов и оборудования.
Шифр специальности:   05.11.14 Технология приборостроения
Авторы (ФИО):   Наумов Александр Сергеевич
Степень соискателя:   канд. техн. наук
Год защиты:   2007
УДК:   621.37/.39:621.9.048.7
ГРНТИ:   47.13.35 Лазерные технологии в электронном производстве
Информация о источнике:   Российская государственная библиотека, отдел диссертаций - http://www.rsl.ru/i
dex.php?doc=104

Приоритетные направления:   Перспективные вооружения, военная и специальная техника;
Транспортные, авиационные и космические системы;

Связанные материалы
Диссертация -> Организация
Место защиты Московский государственный университет приборостроения и информатики..
  Rambler's Top100