Унифицированная карточка ресурса.

(Информационние карты диссертаций)

.
Дата материала:   25.11.2004
Название:   Моделирование процесса ионно-лучевой обработки структуры металл - кремний и ее электронного энергетического строения
Основное описание:   Предложена модель процесса ионно-лучевой обработки структуры хром - кремний ионами инертных газов. В ее основу положено численное решение уравнения переноса, описывающего миграцию атомов в условиях ионного облучения. Необходимая для решения функция атомного смещения моделировалась методом Монте-Карло. Разработанная модель позволяет рассчитывать концентрационные профили перемешивающихся атомов при облучении систем металл - кремний ионами инертных газов. Проведен анализ диаграмм состояния силицида хрома, образованного под действием ионной обработки. Результаты позволяют прогнозировать состав и размеры силицидных областей в приповерхностном слое кремния, сформированных под действием ионно-лучевой обработки. Показано, что глубокие энергетические уровни в запрещенной зоне кремния, обусловленные атомами хрома, возникают только при образовании сложных комплексов дефектов, в состав которых входит примесный атом хрома, а также атомы других химических элементов. Проведено исследование электронного энергетического строения кремния, содержащего комплекс дефектов, в состав которого входят примесные атомы хрома и углерода. Исследовано электронное энергетическое строение гетероструктур кремний (III) - два (четыре и шесть) монослоев атомов никеля или хрома - кремний (III), и определено изменение потенциала в этих структурах.
Шифр специальности:   05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах
Авторы (ФИО):   Остапенко Наталья Александровна
Степень соискателя:   канд. техн. наук
Год защиты:   2004
УДК:   621.382:539.2
ГРНТИ:   47.13.33 Электронно-ионно-плазменные технологии электронного производства,
47.13.11 Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники

Связанные материалы
Диссертация -> Организация
Место защиты Южный федеральный университет
  Rambler's Top100