Унифицированная карточка ресурса.

(Информационные карты НИОКР)

.
Дата материала:   02.12.2005
Номер гос. регистрации:   01200309165
Название:   Методы контроля электрических полей на поверхности микросистем с элементами наноразмеров
Основное описание:   Проведено моделирование анализа электрически активных примесей. Показана более высокая чувствительность метода электростатических сил. Изготовлены тестовые структуры для отработки методики измерения поверхностного потенциала и концентрации носителей заряда. На тестовых структурах проведены измерения потенциала, установлено влияние изолирующих слоев и расстояния между электродами, ограничивающих пространственное разрешение метода при абсолютных измерениях потенциала. Экспериментальное исследование распределения примесей в ИМС и в эпитаксиальных слоях SiC показало высокую чувствительность метода электростатических сил (Кельвин-мода) для этого рода анализа. Реализован вариант метода ЭСМ, позволяющий проводить вольт-фарадные измерения в МДП-структурах с локальностью 30 - 50 нм. Сделан вывод о возможности использования этой методики для определения величины напряжения плоских зон, типа проводимости полупроводника и концентрации свободных носителей заряда.
Авторы (ФИО):   Казак-Казакевич А. З.
УДК:   53.08:621.59
ГРНТИ:   47.49.27 Дистанционное зондирование
Заказать материал:   http://www.v
tic.org.ru/rus/i
f_products.HTM


Связанные материалы
НИОКР -> Организация
Исполнитель НИОКР Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)
  Rambler's Top100