Унифицированная карточка ресурса.

(Информационние карты диссертаций)

.
Дата материала:   09.11.2004
Название:   Физико-химические процессы образования активных частиц и их взаимодействие с медью в плазме хлороводорода
Основное описание:   Получены данные по осевой напряженности электрического поля и температуре нейтральных частиц плазмы в диапазонах давления газа и тока разряда 20 - 200 Па и 10 - 30 мА соответственно. Получены данные по приведенной напряженности электрического поля. Проведен анализ сечений процессов, протекающих в плазме хлороводорода под действием электронного удара. Сформирован оптимальный набор сечений для математического моделирования плазмы. Проведено математическое моделирование плазмы хлороводорода на основе совместного решения кинетического уравнения Больцмана и балансных уравнений химической кинетики образования и гибели нейтральных и заряженных частиц в квазистационарном приближении. Получены данные о качественном и количественном составе нейтральной и заряженной компоненты плазмы. Экспериментально получены и проанализированы данные по плотности потока положительных ионов на поверхность при различных внешних параметрах разряда. Получены экспериментальные данные по кинетике травления меди в плазме хлороводорода.
Шифр специальности:   02.00.04 Физическая химия
Авторы (ФИО):   Балашов Дмитрий Игоревич
Степень соискателя:   канд. физ.-мат. наук
Год защиты:   2004
УДК:   537.523/.527
ГРНТИ:   29.27.43 Газовый разряд,
31.15.30 Радиационная химия. Плазмохимия
Приоритетные направления:   Индустрия наносистем и материалы;
Критические технологии:   Нанотехнологии и наноматериалы;

Связанные материалы
Диссертация -> Организация
Место защиты Ивановский государственный химико-технологический университет
  Rambler's Top100